Геттерно-ионный насос: особенности, области применения, принцип действия
Еще до появления на рынке турбомолекулярных машин многие предприятия и компании активно эксплуатировали геттерно-ионные насосы. Их устанавливали почти во все вакуумные системы, где нужно было получать сверхвысокое давление до 10-6 мБар. На данный момент есть производства, готовые предложить аналогичный товар, но после доработок и модификаций. Это дает более высокую скорость откачивания газа, и они могут формировать вакуум до 10-9 мБар.
Содержание:
- Особенности и сфера использования
- Принцип действия
- Обслуживание и эксплуатация
- Покупка геттерно-ионных насосов
Особенности и сфера использования
Любой геттерный насос является экологически чистым оборудованием, способным предоставить сверхвысокий вакуум на выгодных для пользователя условиях. Принцип функционирования заключается в захвате и обработке газовых молекул слоем геттера, после чего масса удерживается в камере. За счет такого действия конструкция помогает поддержать вакуум даже после отключения, при неработающей системе.
Описываемый вакуумный прибор является камерой, внутри которой неподвижные узлы. Такая конструкция отлично подходит для закрытой системы, которая требует высокой надежности и стабильного, продолжительного действия.
Особенности и сфера использовани
Сфера использования агрегатов очень большая. Основные направления таковы:
- Научная и исследовательская деятельность;
- Работа с научным инструментом;
- Космическая сфера;
- Поиск утечек вакуумной среды;
- Создание полупроводников или вакуумных труб;
- Микроскопия и литография.
Для получения высокого вакуума отлично подходят не только геттерные аппараты, но и магниторазрядные устройства. Оба типа являются газоулавливающей техникой, поскольку газ остается внутри камеры и проходит определенную обработку. Приборы можно подвергать термообработке, однако если температура будет более 250 градусов, то нужно снимать соединительный кабель с магнитом.
Термическая обработка позволяет быстро выполнять дегазацию и повышать эффективность функционирования при условии предельного остаточного давления. Максимальная температура до 450 градусов, показатели свыше не могут использоваться для агрегатов такого типа. В случае отключения питания, техника будет остановлена, а внутри давление постепенно начинает повышаться. Как только проблема ликвидируется, то показатели вернутся к норме.
Принцип действия
Для геттерных агрегатов нет потребности создания форвакуума, однако они имеют параллельную работу вместе с высоковакуумными установками для транспортировки газообразных смесей. Это необходимо для разрежения и возможности эксплуатации описываемого оборудования. Скорость функционирования с инертными газами невысокая, но абсолютного показателя хватает для откачки без вспомогательной техники.
Одним из популярных приборов считается ГИН-5, который включает в себя следующие элементы:
- Корпус с системой водяного охлаждения;
- Прямоканальные испарители;
- 2 типа анодов и катоды.
Принцип действия
Основные узлы стоят на фланце, есть дополнительная шланга с креплением для дополнительной системы откачки. Агрегат используется для давления 10-6-10-2 Па. Обработка газа выполняется хемосорбцией массы, а титановая пленка постоянно обновляется в результате испарения материала из твердой фазы. Все пары собираются на охлажденных стенках, что позволяет получить пленку геттера, а газовые молекулы ударяются о корпус и конденсируемое вещество, происходит сорбция.
Ионизация в подобных устройствах помогает ускорить функционирование и обработку газового вещества. Получить ионы помогают катоды и аноды. В среднем испарительные блоки выдерживают до 600 часов работы, а сами испарители по 100-200 часов.
Обслуживание и эксплуатация
Перед самым первым запуском необходимо провести следующие манипуляции:
- Откачать агрегат до давления 1х10-3 Па;
- Слить воду и продуть систему воздухом;
- Запустить нагревательный элемент для прогрева в течение 10 часов;
- Сделать обезгаживание испарителя с катодом;
- Влиять воду в систему охлаждения, когда корпус будет остывшим до 100 градусов.
Обслуживание и эксплуатация
В ходе функционирования и поддержки необходимого вакуумного показателя, есть возможность изменять силу испарения титана. Настройка зависит от емкостей и выделений газа. Многие приборы можно улучшить по мощности почти в 1,5 раза, но эффективность скорости действия может снизиться, поскольку обработка газа усиливается, возрастает температура агрегата, а испаритель может перегореть.
Чтобы агрегат сохранял постоянно параметров, необходимо следить за остатком титана в рабочей камере. По мере его исчезновения изменять мощность. На практике если использовать меньше 30% титана от его первичного количества, то использовать испаритель нецелесообразно. Это вызвано тем.
В ходе использования может потребоваться обслуживание, которое заключается в чистке корпуса от титановых остатков. Потребность выполнения работы зависит от режима применения агрегата, его давления и объемов входящего атмосферного воздуха. Рекомендуется очищать систему после полной замены 3-4 испарителей.
Покупка геттерно-ионных насосов
Наш магазин готов предложить проверенные и качественные геттерно-ионные насосы от различных брендов. Цена товара зависит от его возможностей и производителя, сотрудники всегда помогут клиенту подобрать «золотую середину», чтобы добиться эффективной работы и выполнения производственных задач. Любое изделие из каталога сертифицировано с гарантией от производителя, поэтому каждый сможет найти для себя надежный и качественный агрегат, соответствующий безопасности, международным стандартам.
Покупка геттерно-ионных насосовё